純度可以說是石英儀器的一個重要指標，是非常大的，理化功能和使用功能的影響包括：滲透率損失，高溫強度高，軟化點，導光，熱穩(wěn)定性，化學穩(wěn)定性，耐輻射，熒光特性。

　　用于半導體工業(yè)的石英儀器，要求更高的純度，微量雜質會給電力半導體材料可以和生活帶來嚴重的影響和融合。因為在ppb數量級以下控制的半導體材料的純度要求，所以石英儀器應控制在PPM級的半導體行業(yè)的需求數量。B偏析系數接近于1，最難擺脫的雜質，是最有害的，Cu，Fe，Ti和半導體，K，Na的少數載流子壽命的影響，鋰是一種有害的雜質晶體材料產生微缺陷。

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